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成都真空鍍膜機(jī)

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成都真空鍍膜機(jī)


成都鑫南光機(jī)械設(shè)備有限公司帶大家一起來看一下成都真空鍍膜機(jī)的參數(shù):

一、真空鍍膜機(jī)主要用途:

供制備薄膜無源微型元件。

二、主要技術(shù)指標(biāo):

1.          蒸發(fā)室極限真空度:       4×10-4Pa

2.          蒸發(fā)室恢復(fù)4×10-3Pa的時間:  ≤15min

3.          基片旋轉(zhuǎn)架的轉(zhuǎn)速:           0~60n/min

4.          基片烘烤溫度:               室溫~350℃

5.          蒸發(fā)電極數(shù)量:               3對

6.          蒸發(fā)電極參數(shù):                0~10伏   0~300A

7.          離子轟擊參數(shù):                0~3000伏  0~200mA

8.          鐘罩容積:                    Φ500×620(mm)

9.          需要動力:                   電力    10KW

10.         外形尺寸:                     1300×830×1720(mm)

四川真空鍍膜機(jī)

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