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發(fā)布時間：
2020-06-20
來源： 小編在這里給大家分享的主要是四川光刻機的主要性能指標有哪些，希望看完之后大家對于光刻機的主要性能指標有一定的了解。
光刻機的主要性能指標：
1、支持基片的尺寸范圍，分辨率、對準精度、曝光方式、光源波長、光強均勻性、生產(chǎn)效率等。
2、分辨率是對光刻工藝加工可以達到的*細線條精度的一種描述方式。
3、光刻的分辨率受受光源衍射的限制,所以與光源、光刻系統(tǒng)、光刻膠和工藝等各方面的限制。
4、對準精度是在多層曝光時層間圖案的定位精度。
5、曝光方式分為接觸接近式、投影式和直寫式。
6、曝光光源波長為紫外、深紫外和極紫外區(qū)域，光源有汞燈，準分子激光器等。
相信大家看完文章之后對于四川光刻機的主要性能指標一定的了解，能夠?qū)饪虣C有更深入的認識。
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